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鍍膜工藝(yì)設計

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣:9712

鍍膜工藝之設計應著(zhe)重考慮不同薄膜材料之間需要不(bú)同的沉積工藝,

不同濺射技術的實施(直流(liú)、中頻、射頻、脈(mò)衝、反應濺射,以及它(tā)們之間的結合而發展的(de)技術,或者新技術的應用等),

同種技術不同工藝參數的調整(功率,氣壓(yā),沉積(jī)方(fāng)式等),前處理(清洗、預熱等),後處理(熱處理等)。

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