最直接的鍍膜（mó）控製方（fāng）法是石英晶體微量平衡（héng）法(QCM)，這種儀器可以直接驅動蒸發源，通過PID控製循環驅動擋板，保持蒸發（fā）速率。隻（zhī）要將（jiāng）儀器與係統控製軟（ruǎn）件相連接，它就可以控製整個的鍍膜過程。但是(QCM)的精確度是有限的，部分原因是由於它監控的是被鍍膜的質量而不是其光學厚度。
    此外雖然QCM在較低溫度（dù）下非常穩定，但溫度較（jiào）高時，它會變得對溫（wēn）度非常敏感。在長時間的加（jiā）熱過程中，很難阻止（zhǐ）傳感器跌入這個敏感區域，從而對膜（mó）層造成重（chóng）大誤差。
    光學監控（kòng）是高精密鍍膜的的首選監控方式（shì），這是因為它（tā）可以更精確地控（kòng）製膜層厚度(如（rú）果（guǒ）運用得當)。精（jīng）確（què）度的改進源於很多因（yīn）素,但最根本的（de）原因是對（duì）光學厚度（dù）的監控。
    OPTIMAL SWA-I-05單波長光學監控係（xì）統，是采用間接測控，結合汪博士開發的先進光學監控軟件，有效提高光學反應對膜厚度變化（huà）靈敏度的理論和方法來減少（shǎo）終極（jí）誤（wù）差，提供了反饋或傳輸的選（xuǎn）擇模式和大範圍（wéi）的監測波長。特別適合於各種膜厚的鍍膜監控包括非規整膜監控。

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