真空鍍（dù）膜機是目前製作真（zhēn）空（kōng）條件應用最為（wéi）廣泛（fàn）的真（zhēn）空設備，一般用真空室、真空機組（zǔ）、電氣控製櫃三大工作原理。

真空主題--真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用最多的有直（zhí）徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼材料製作，要求不生鏽、堅實等，真空腔各部分有鏈接閥（fá），用來鏈（liàn）接各抽氣泵浦（pǔ）。

輔助抽氣係統：排氣係統為鍍（dù）膜機真空係（xì）統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主（zhǔ）要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成，此排氣係（xì）統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低（dī）溫冷阱+polycold組成”。

排氣流程（chéng）為：機械泵（bèng）先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態（tài），為擴散泵後續抽真空提供前提，之後當擴散泵抽真空的時候，機械泵（bèng）又（yòu）配合油擴散泵組成串聯，已這（zhè）樣的方式完成抽氣動（dòng）作。

 機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用最廣泛（fàn）的一（yī）種低真空泵，它是（shì）用油來保持密封效果（guǒ）並依靠機械的方法不（bú）斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從（cóng）而獲得真空。