質量（liàng）流量計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表，

其測量值不因溫度（dù）或壓力的波動而失準，不需（xū）要溫度（dù）壓力補償。

質量流量控製器，即Mass flow controller(縮寫為MFC），不但具有質量（liàng）流量計的功能，

更重要（yào）的是，它能自動控製氣體流量，即用（yòng）戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，

即使係統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。

簡單地說，質量流量控製器就是一個穩定裝（zhuāng）置，是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控製的氣體穩流裝置。