低真空的獲得  

獲得低真空常采用（yòng）機械泵（bèng），機械泵是運用機械（xiè）方法不（bú）斷地改變泵（bèng）內吸氣空腔的體積（jī），使被抽容器內（nèi）氣體的（de）體積（jī）不斷膨脹，從而獲得真空的裝置。

它可以直接在大氣壓下（xià）開始工作，極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率（lǜ）與轉速及空腔體積V的大小有關，一般（bān）在每秒幾升到每秒幾十升之間。

高真空的獲得 

目前，廣泛使用的獲得高真空的泵就是擴散泵。擴散（sàn）泵是利用（yòng）氣體擴散現（xiàn）象來抽氣的，它不能直接在大氣壓下工作，而需要一定的預備真空度（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵的極限真空度主要取決於油蒸汽壓和氣體分（fèn）子的反擴散，一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構相關，每（měi）秒幾升--幾百升不等。