微信（xìn）掃一（yī）掃 關（guān）注浦元最新動態！等離子（plasma）是除（chú）固體、液體（tǐ）、氣（qì）體之外（wài）的第四種物質（zhì）狀態，主要是由氣體在高電磁場作用下（xià）發生解離（lí），形成（chéng）一種包括電子（帶負電），正離子（帶正電），自由基和中性氣體分子組成的（de）高活性物質，通產情況下會發光。
一般情況（kuàng）下，等離子中的正電荷數等於負電荷數，所以整體呈電中性（Quasi-neutral）。日常生活中（zhōng）見到的閃電、日光燈、霓虹燈就是等離子體發光現象。
等離子的（de）產生有很多種（zhǒng）方法，但生成和維持都需要外部能量的輸入（rù）。
電子從外加電磁場（chǎng）獲得能量，然後（hòu）發生非彈（dàn）性（xìng）碰撞產生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解（jiě）離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生二（èr）次電子、原子、分子（zǐ）、離子等物質，然而在解離碰撞中，電（diàn）子可能與氣體離子有再（zài）結合作用，或者因為漂移及擴散而（ér）離開電磁（cí）場範圍等（děng）原因消失（shī），因此當電子產生與消（xiāo）失的速率相等時，此時的plasma即為穩定（dìng）狀態。這裏列舉四（sì）種ETCH常用產生plasma的方法，後麵會詳解介紹。
三（sān）、等離子（zǐ）體的（de）參數 plasma parameters
平均自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒子碰撞前能夠移動的平均距離。MFP與環境（jìng）壓力（lì）P呈反比，壓力越高，MFP越短，壓力約低，MFP越（yuè）長（zhǎng），這就是為（wéi）什麽plasma產生要在低壓（yā）近似真空環境下產生，因為在大氣壓（yā）力（lì）下（760Torr），電子的（de）MFP很短（duǎn），很難獲得足夠的能力來使用氣體離子化（huà）。