通俗的定義為在正常狀況下，其（qí）應用功能不會失效。

想要達到這個目的，一般而言這層薄膜必須具有（yǒu）堅牢的附著力（lì）、很低的內應力、針孔（kǒng）密度很少、夠強的機械性能、均勻的膜厚、以及足夠的抗化學侵蝕性（xìng）。

薄膜（mó）的特性（xìng）主要受到沉積過程、成膜條件、接口層的形成和基材的影響，隨後的熱處理亦（yì）扮演重（chóng）要（yào）角色。 

沉積的薄膜有內應（yīng）力的存在，其來源為何? 

薄膜和基材之間的晶格失配 

薄膜和基材之間（jiān）的熱膨脹係數（shù）差異 

晶界之間的互擠