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真空鍍膜機(jī)各部件以及原理分析

作者: 來源: 日期:2020-03-16 9:52:53 人氣:30500
真空鍍(dù)膜機的真(zhēn)空腔體----根據加工產品要求的差異,真空腔體大小也(yě)不一樣,目前應用比較多的有直徑0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔體由(yóu)不鏽鋼材(cái)料製作,要求不生鏽、堅實,真空腔體各部分有鏈接閥,用來鏈接各抽氣泵浦。

真空鍍膜機的輔助抽氣係統:排氣(qì)係統為鍍膜真空係統的(de)重要組成部分,機械泵(bèng)、增壓泵(bèng)/羅茨泵、擴散泵三大部分組成。這個排(pái)氣係統為:擴散泵+機械(xiè)泵+羅茨(cí)泵+低溫冷阱+polycold。排氣流程:機械泵先將真(zhēn)空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後續抽真空提供前提,之(zhī)後當擴散泵抽真(zhēn)空的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作(zuò)。

真空鍍膜機的機械(xiè)原理以及其分類:
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用很廣的一種低真空泵,它是用(yòng)油來保持密封效果並依(yī)靠機械的方法不斷的(de)改(gǎi)變泵內吸氣空腔的體積(jī),使被抽容器(qì)內氣體體積不斷膨脹從而獲得真空。
一.機械泵的(de)分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(主(zhǔ)要用(yòng)於大型設備),活塞往複式(shì),定(dìng)片(piàn)式和旋片式(此目前運用很廣)
二.機械泵是(shì)從大氣開(kāi)始工作的,它的主(zhǔ)要參數有極限真空、抽氣速率、此為設計和選用機(jī)械泵的重要依據(jù),單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空(kōng),雙級泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2PA,甚至更高。抽氣速率是指旋(xuán)片泵,按額(é)定轉速運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積(jī),可用公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示(shì)吸氣(qì)結束時空腔截麵積,L表(biǎo)示空腔長度,係數表示轉子(zǐ)每旋轉一周(zhōu)有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處於水平位置的時候(hòu),吸氣結束,此時空腔(qiāng)內的體(tǐ)積較大,轉(zhuǎn)數為n。機(jī)械(xiè)泵排氣的效果還與電機的轉數以及皮(pí)帶(dài)的鬆緊度有關,當電機的皮帶(dài)比較鬆,電機轉數很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經常保養,點(diǎn)檢,機械泵的密封效果也需要經常點檢,由(yóu)過少,達不(bú)到密封效果,泵內會漏氣,油(yóu)過多,把吸氣孔堵(dǔ)塞,無法吸氣和排氣(qì),一般在油位線下0.5厘米(mǐ)即可。
三.機械泵常常被用來抽除幹(gàn)燥的空氣,但不能抽除含氧(yǎng)量過高、有(yǒu)爆(bào)炸和(hé)腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除長久性的氣體,但是對水氣沒有好的效果,所(suǒ)以(yǐ)它不(bú)能抽除(chú)水氣。旋(xuán)葉泵(bèng)中起主要作用的部件(jiàn)是(shì)定子、轉(zhuǎn)子、彈片等,轉子在定子裏麵(miàn)但與定(dìng)子不同心軸,像兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈(dàn)片,兩片彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼(tiē)在定子的(de)內壁。 
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