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真空電鍍設備膜厚的不均勻問題

作(zuò)者: 來源: 日期:2017-10-25 16:07:52 人氣:4294
無論監控儀精度怎樣,它也隻能(néng)控製真空室裏單點位置的膜厚,一般來講是工件架的中間位置。如果(guǒ)真空電鍍設備此位置的膜厚不是絕對均勻的,那麽遠離中(zhōng)心(xīn)位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然(rán)屏蔽罩能消除表現為長期的不均(jun1)勻性,但有些膜厚度的變化(huà)是由蒸發源的不穩定或膜材(cái)的不同表現而引起的,所(suǒ)以幾乎(hū)是不可能消(xiāo)除的,但(dàn)對真空室的結(jié)構和蒸發源的恰(qià)當選擇可以(yǐ)使這些影響最小化。
  在過(guò)去幾年中,越來越多的(de)用戶要求鍍膜係統製造廠家(jiā)提供高性能的小規格、簡便型光學鍍膜係統,同時(shí),用戶對性能的(de)要求不僅沒有降低,反而有所(suǒ)提高,特別是在薄膜(mó)密度和(hé)保證吸水後(hòu)光譜變化最小化等方(fāng)麵。
  現(xiàn)在,係統的平均尺寸規格已經在降低,而應用小規格設備進行光學(xué)鍍膜的生產也已經轉變成為純技術問題。因此,選(xuǎn)用現代化光學鍍膜係統的關鍵取決於對以下因素的認真考(kǎo)慮:對鍍(dù)膜產品的預期性能,基片的尺寸大小(xiǎo)和(hé)物理特性以及(jí)保證高度一致性工藝(yì)所必需的所有技(jì)術因素(sù)。
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