1、真空鍍膜設備每完成200個鍍膜（mó）程序以上，應清潔工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和（hé）溶（róng）液反複擦洗真空室內壁，( 注（zhù）意人體皮膚不（bú）可以直（zhí）接接觸燒堿溶液，以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反（fǎn）應，反應後膜層脫落，並釋放（fàng）出氫氣。再（zài）用清水清洗真空室和（hé）用布沾汽油清洗精抽閥內的汙垢。
2、當粗抽泵（bèng）(滑閥泵（bèng），旋片泵)連續工作一個月(雨季（jì）減半)，需更換新油。方法是:擰開（kāi）放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動（dòng）數秒，使泵內的（de）舊油完全排放出來。擰回（huí）放油螺栓，加入新油至額定量（liàng）(油視鏡觀察)。連續使用半年以上，換油時應將油（yóu）蓋打開，用布擦幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使用（yòng）6個月以上，抽速明（míng）顯變慢，或操作失當，充入（rù）大氣，拆去聯結（jié）水管，卸下（xià）電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉（fěn）兌水清洗一遍，然（rán）後用清水徹（chè）底清洗幹淨，待水份（fèn）揮發幹（gàn）以（yǐ）後（hòu），裝好泵膽，加入新擴散泵油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏（lòu）工作。方法是:啟動維（wéi）持泵，關好大門，數分（fèn）鍾後，觀察（chá）擴散泵部（bù）分真空度是否（fǒu）達到6X10帕，否則要進行檢（jiǎn）漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈，或壓（yā）壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱（rè），否則擴（kuò）散泵油會（huì）燒環，無法進（jìn）入工作狀態。

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