磁控濺射膜常見故障的排除
膜層灰(huī)暗及發黑
(1)真空度低於 0.67Pa。應將真空度提高到 0.13-0.4Pa。
(2)氬氣純度低於 99.9%。應換用純度(dù)為 99.99%的氬氣(qì)。
(3)充氣係統漏氣。應檢查充氣係統,排除漏氣現象。
(4)底漆未充分固化。應適當(dāng)延長底漆的固化時間。
(5)鍍件放氣量太大。應進行幹燥和封孔處理 膜(mó)層表麵光(guāng)澤暗淡
(1)底漆固化不良或變(biàn)質。應適當延長底漆的固化時間或更換底漆。
(2)濺射時間太長。應適(shì)當縮短。
(3)濺射成膜速度太快。應適當(dāng)降低濺射電流或電壓
膜層色(sè)澤不均
(1)底漆噴塗得不均勻。應改(gǎi)進底漆的施塗方法(fǎ)。
(2)膜層太薄。應適當提高濺射速度或延長(zhǎng)濺射時間(jiān)。
(3)夾(jiá)具設計不合理。應(yīng)改進夾具設計(jì)。
(4)鍍件的幾何形狀(zhuàng)太複雜。應適當提高鍍件的旋轉速度
膜層發皺、龜裂
(1)底漆噴塗得太厚。應控製在 7—lOtan 厚度範圍內。
(2)塗料的(de)粘度太高。應適當降低。
(3)蒸發速度太快(kuài)。應適當減慢。
(4)膜層太(tài)厚(hòu)。應適當縮短濺射時間。
(5)鍍件溫度太高(gāo)。應適當縮短對鍍件的加(jiā)溫時間
膜層表麵有水跡、指紋及灰粒
(1)鍍件清洗後未(wèi)充分(fèn)幹燥。應加強鍍前處理。
(2)鍍件表麵濺上水珠或(huò)唾液。應加(jiā)強文明(míng)生產,操作者(zhě)應帶口罩。
(3)塗底(dǐ)漆後手接(jiē)觸過鍍件,表麵留下(xià)指紋。應嚴禁用手接觸鍍件表麵。
(4)塗料中有顆粒物。應過濾塗料(liào)或更(gèng)換塗料。
(5)靜電(diàn)除塵失效或(huò)噴塗和(hé)固化環(huán)境中有(yǒu)顆粒灰塵。應更換除塵器(qì),並保持工作環境的清潔
膜層(céng)附著力不良
(1)鍍件除油脫脂不徹底。應加強鍍前(qián)處理。
(2)真空室內不清潔。應清洗真空室。值得注意的是,在裝靶和拆靶的過程中,嚴禁用手 或不(bú)幹淨(jìng)的物體與磁控源接觸,以保證(zhèng)磁(cí)控源具有(yǒu)較高的清潔度,這(zhè)是提高膜層結合力的 要措施之一。
(3)夾具不清潔。應清洗夾具。
(4)底塗料選用不當。應更換塗料。
(5)濺射工藝(yì)條件控製不當。應改進濺射工藝(yì)條件(jiàn)