1)、固定筒(tǒng)3 圓(yuán)筒形狀、大直徑(jìng)、厚壁結構的設計和周向對稱的(de)固(gù)定方式(shì),可保證其有足夠的強度和剛(gāng)度(dù),同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部件汙染,保證撥動(dòng)盤15 轉動的靈活性。
2)、圓形軸承座(zuò)2 的設計,保證軸承座安裝的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中(zhōng)兩軸承的安裝間距,提高其自身的強度和剛度,保證轉動過程中軸1 的剛度和撥動盤15的旋(xuán)轉(zhuǎn)靈活性、位置重複的一致性。
3)、裝載換位機構,通過擴大支承盤16 的直徑(jìng),使該(gāi)機構在平(píng)麵方向的有效麵積增大,可安(ān)裝直徑大(Φ26.5mm)的(de)比較片,有利於光路調整,提高光學(xué)薄膜質量;比較(jiào)片12 由單片玻璃(lí)作為一個比較片單元(yuán),比較片采(cǎi)用空間(jiān)立體疊(dié)加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內,實現一次可放置50~100 片比較片,解決
鍍膜機(jī)鍍製多層精密光學薄膜,比較片數量少影響鍍膜層數和精度(dù)的問題。
4)、定(dìng)位盤(pán)6 與(yǔ)槽型光藕17 的配合,通過槽型光藕來感知定(dìng)位盤上(shàng)三個均分的120°狹縫,控製電機轉(zhuǎn)動停止。軸1 旋轉定位(wèi)重複的一致性得到保證,帶動撥動盤15 完成準確的(de)撥片動作。
5)、 轉動密封饋入機構引(yǐn)入威爾遜密封機構5,既保證電機9 通(tōng)過齒輪齧合帶動(dòng)軸1 的靈活(huó)轉動,又(yòu)保證真空室對外部的密封作用。優化設計的真空鍍膜機多片式比較片裝置,其特點:(1)結構(gòu)簡單,強度高,可靠性好;(2)比較(jiào)片裝載數量大,生產效率提高,可鍍製超多層精密光學薄膜;(3)比(bǐ)較片直徑增大,提高薄膜監控的精度,降低對硬件(jiàn)係統的要求,係統容易實現自動控(kòng)製;(4)維護保養費用低。
通過(guò)對真空鍍膜機多片式比較片(piàn)裝置的優化設計(jì),保證了比(bǐ)較片機構撥片轉動的靈活性和重複的(de)一致性,解決了(le)比較片有效麵積小,光路調整不方便,光信號信噪(zào)比差(chà)的問題,又解(jiě)決(jué)了比較片裝載數量少(shǎo)的問題,可以使現(xiàn)有的(de)真空鍍膜機鍍製光學薄膜的質量大大提高,並且(qiě)30 層以(yǐ)上的光學(xué)薄膜得以鍍製完成。實踐證明此(cǐ)比(bǐ)較片結構是有用的,可以在現代的光學真空鍍膜行業進行推廣和(hé)實施,