SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機(jī)

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:22856
SF係列電(diàn)子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原(yuán)理

電子束蒸發是將膜材放入水冷(lěng)銅坩(gān)堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後入射(shè)到基片表麵(miàn)凝結成膜。電子束蒸發比一般電(diàn)阻加(jiā)熱蒸發(fā)熱效率高、束流密度大、蒸發速(sù)度快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能(néng)夠實現0-50層膜的膜係鍍膜,也(yě)能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等(děng)產品的鍍膜要求。配(pèi)置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化(huà)合物及其他高熔(róng)點膜材(cái)皆可蒸(zhēng)鍍

產品特點(diǎn)

1)  光(guāng)學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過(guò)程的自動控製,工作(zuò)效率和產品質(zhì)量重複性一致性優良.
2)適(shì)用於光學領域行(háng)業,大規模工業生產要求的廠商使(shǐ)用。

技術參數表

SF係列電子束(shù)蒸發(fā)光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室(shì)尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴(kuò)散泵(bèng)機組KT630擴散泵機(jī)組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵(bèng)機組KT630擴散(sàn)泵機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)
鍍膜係統電子槍蒸發源(yuán)、鍍膜輔(fǔ)助離子專用電源或霍爾(ěr)離(lí)子源
充氣係(xì)統壓強控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚監控(kòng)係統石英晶體膜(mó)厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注(zhù)以上設備參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實際工藝要求設計訂做
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