超大(dà)型板材管材真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:16:58 人氣:22954
超大型板材管材真空(kōng)鍍膜機

工(gōng)作原理

離子鍍是真空室中,利用(yòng)氣體放電或被蒸發(fā)物質部分離化,在氣體(tǐ)離子或(huò)被蒸發物質粒子轟擊作用的(de)同時,將蒸發物或反應物沉積在(zài)基片上(shàng)。離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術和真空蒸(zhēng)發三者有機結(jié)合起來,不僅能明顯地(dì)改進了膜(mó)質量,而且還(hái)擴大了薄膜的應用範圍。其優點(diǎn)是薄膜附(fù)著力強,繞射性好,膜材廣泛等(děng)。多弧離子鍍與一般的離子鍍有著很大的區別(bié)。多弧離子鍍采用的是弧光放電,而並不是傳統離子鍍的輝光放電進行沉積。簡(jiǎn)單的說,多弧離子鍍的原理就是把陰極靶(bǎ)作為蒸發源,通過靶與陽極殼體之間的弧光放電,使靶材蒸發,從而在空間中形成等(děng)離(lí)子體,對基體進行沉積。

應用範圍

可(kě)以鍍製不鏽鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍製合金膜或化合物,如TiN\TiAlN\CrN膜等,臥式(shì)多弧離子鍍膜機主要針對大麵積(jī)五金工件鍍裝飾膜或者功能膜,適合於在不鏽鋼板、不鏽鋼管、不鏽鋼門等工件表麵鍍膜。

產品特(tè)點

1)、此類設(shè)備真空室(shì)最大尺寸能實現 φ5000X10000MM(長)
2)、是在大型板材、管材上鍍製各類裝飾膜層(céng)及功能膜膜層的適合設備。

技術參數表

HLB係列大型板材管(guǎn)材真空鍍膜機     
型號(hào)HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空機組(zǔ)雙(shuāng)KT800擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套(tào)雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散(sàn)泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴(kuò)散泵機組*4套
鍍膜係統專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁(cí)環弧靶+柱形弧(hú)靶(可選配)
輔助鍍膜係統(tǒng)低溫離子輔助(zhù)源(除工具鍍外無需加溫係統)
充氣係統質(zhì)量流量(liàng)計
控製方式(shì)手動或全(quán)自(zì)動
抽(chōu)氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按(àn)客戶實際工藝要求設計訂(dìng)做
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