當前位置(zhì):首(shǒu)頁|SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機
工作原理
應用範圍
產品特點
技(jì)術參數表
SF係列電子束蒸發光學真空(kōng)鍍膜機 | |||||||
型號 | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 |
真空室尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統(tǒng) | 電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源 | ||||||
充氣係統 | 壓強(qiáng)控製(zhì)儀 | ||||||
控(kòng)製方式 | 手動或半自動(dòng) | ||||||
膜厚監控係統 | 石英晶體膜厚監控係統 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設(shè)備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |