SF係列電子束蒸發光學(xué)真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:22857
SF係列(liè)電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放(fàng)入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使(shǐ)膜材中的(de)原子或分子從表麵(miàn)汽(qì)化逸出後入射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發比(bǐ)一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應用範(fàn)圍

光學鍍膜設備可鍍製層(céng)數較多的短波通、長波通、增透膜(mó)、反射膜、濾光(guāng)膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各(gè)種膜係,能夠實現(xiàn)0-50層(céng)膜的膜係鍍膜,也能(néng)滿足如汽車反光玻璃、、眼(yǎn)鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配(pèi)置不(bú)同的蒸(zhēng)發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜(mó)係(xì),對金屬、氧化物、化(huà)合物及其他高熔點膜材皆可蒸(zhēng)鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過程的自(zì)動控製,工(gōng)作效率和(hé)產品質(zhì)量重複性一(yī)致性(xìng)優良.
2)適用於光學領域行業(yè),大規模工業生(shēng)產要求的(de)廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室(shì)尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發(fā)源、鍍膜輔助離子專用電源或(huò)霍爾離子源
充氣係(xì)統壓強控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係(xì)統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客(kè)戶實際工藝要求設計訂做
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