CJ係列磁控濺射真空鍍膜機(jī)

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:65379

CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機

工作原理(lǐ)

CJ係(xì)列磁控(kòng)濺(jiàn)射真空鍍膜機(jī)的磁控濺射工(gōng)作原理,所謂“濺射”就(jiù)是用荷(hé)能(néng)粒子(通常用氣體正(zhèng)離子)轟擊物(wù)體,從(cóng)而引(yǐn)起物(wù)體(tǐ)表麵原子從(cóng)母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實(shí)驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和(hé)對數電場則分別用於平麵靶和同(tóng)軸圓柱靶。電子(zǐ)在電場作用下,加速飛向基片的過程中與(yǔ)氬原子發生碰撞。若電子具有足(zú)夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材(cái)發生濺射。 

應用範圍

廣泛(fàn)應(yīng)用於家電(diàn)電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀(yí)器儀表、塑料、玻璃、陶(táo)瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領(lǐng)域有優勢。

產品特點

1)、膜厚(hòu)可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜(mó)可以在(zài)較大的表麵上(shàng)獲得(dé)厚度(dù)均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分(fèn)高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合(hé)的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同(tóng)時濺(jiàn)射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度(dù)高(gāo),濺射膜層(céng)中不會(huì)混入坩(gān)鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助(zhù)源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電(diàn),提高產能。

技術參數(shù)表

CJ係列磁控濺射真(zhēn)空鍍膜(mó)機(jī)     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室(shì)尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散泵機組(zǔ)KT630擴散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組
鍍膜係統直流或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電源
充氣係統質量流量計(jì)質量(liàng)流量計質量流量計質(zhì)量流量計質量流量計質量流量計質量流量計
控製方式手動(dòng)或全自動手動或全自動手動或全自動(dòng)手動或全自動手動或全自動(dòng)手動或全自動手動或全(quán)自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備(bèi)參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實際工藝要(yào)求(qiú)設(shè)計訂做
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