工作原理
應用(yòng)範圍
產品特點
技術參數表
CJHL係列(liè)磁(cí)控多弧真空鍍(dù)膜機 | |||||||
型號 | CJHL-600 | CJHL-800 | CJHL-1000 | CJHL-1200 | CJHL-1400 | CJHL-1500 | CJHL-1600 |
真空室(shì)尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 |
鍍膜係統 | 直流電源或(huò)中頻電源(yuán)+多弧鍍膜電源、多功能孿生磁環弧靶+矩形平麵靶+圓柱磁控多弧兩用(yòng)靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製(zhì)方式 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真(zhēn)空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實際工藝要求設計訂(dìng)做 |