工作（zuò）原理
WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸發真空鍍膜機的原理是在（zài）真空室中將金屬材料（鋁、鎳、錫等）利用電阻蒸發技術將材料汽化，汽化後的金屬分（fèn）子產（chǎn）生飛逸沉積於基材的表麵上形成鋁、錫等純金屬薄膜（mó）層，出爐後將膜層從特別的基材表麵（miàn）可輕輕剝落，形成（chéng）無介質獨立（lì）性的厚度為2-3μm，具有一定彈性、能夠隔離氣體和光線的薄膜。
應用（yòng）範圍
產品特（tè）點
技術（shù）參數表
| WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸發真空（kōng）鍍膜（mó）機 | |||||||
| 型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
| 真（zhēn）空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
| 真空機組 | KT300擴散泵（bèng）機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組（zǔ） | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機（jī）組 |
| 鍍膜係（xì）統 | 電阻蒸發（fā）源+圓柱磁控（kòng）多弧（可選配） | ||||||
| 鍍（dù）膜輔助係統 | 低（dī）溫離子鍍膜電源 | ||||||
| 充氣係統 | 質量（liàng）流量計 | 質（zhì）量（liàng）流量（liàng）計（jì） | 質量流量計 | 質量（liàng）流量計（jì） | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
| 控製方式 | 手動或全（quán）自動 | ||||||
| 抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
| 極限真（zhēn）空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
| 備注 | 以上設備（bèi）參數僅做參考，具體均按客戶實際工藝要求設計訂做（zuò） | ||||||