超大(dà)型板材管(guǎn)材真空(kōng)鍍膜機

日期:2016-01-13 10:16:58 人氣:22953
超大型板材管(guǎn)材真空鍍膜機

工(gōng)作原理

離子鍍是真空室中,利用氣體放電或被(bèi)蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應(yīng)物沉(chén)積在基片上。離子(zǐ)鍍把輝光放電(diàn)現象、等離子(zǐ)體(tǐ)技術和(hé)真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯(xiǎn)地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應(yīng)用範圍。其優點是薄膜附著力強,繞射性好,膜材(cái)廣泛等。多弧(hú)離子鍍與(yǔ)一般的離子鍍有著很大的區別。多弧離子鍍采用的是(shì)弧光放電,而並不是傳統離子(zǐ)鍍的輝(huī)光放電進行沉積。簡單的(de)說,多弧離子鍍的原理就是把陰極靶(bǎ)作為蒸發源,通過靶與陽極殼體之間的弧光(guāng)放電,使靶材蒸發,從而在空間中形成等(děng)離子(zǐ)體,對基體進行沉積。

應(yīng)用範圍

可以鍍製不鏽鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍製合金膜或化合物,如TiN\TiAlN\CrN膜等(děng),臥式多弧離子鍍膜(mó)機主要針對大麵積五金工件鍍裝(zhuāng)飾膜或者功能膜,適合於在不鏽鋼板、不鏽鋼管、不鏽鋼門等工件表麵鍍(dù)膜。

產品特點(diǎn)

1)、此類設備真空室最大(dà)尺寸能實現 φ5000X10000MM(長)
2)、是在大(dà)型板(bǎn)材、管材上(shàng)鍍製各類裝飾膜層及功能膜膜(mó)層的適合設備。

技術參數表

HLB係列大型板材管材真空鍍膜機     
型號HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空機組雙(shuāng)KT800擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組(zǔ)雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴(kuò)散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機(jī)組*4套
鍍膜係統專(zhuān)用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(可選配)
輔助(zhù)鍍膜係(xì)統低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統)
充氣係統質量流量計
控製方式手動或(huò)全自動
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極(jí)限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備注以上(shàng)設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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