工作原理
應用範圍
產品特點
技術(shù)參數表
CJHL係列磁控多弧真空(kōng)鍍(dù)膜機 | |||||||
型號 | CJHL-600 | CJHL-800 | CJHL-1000 | CJHL-1200 | CJHL-1400 | CJHL-1500 | CJHL-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 |
鍍膜係統 | 直流電源或中頻(pín)電(diàn)源+多弧鍍膜電(diàn)源、多功(gōng)能孿(luán)生磁環弧靶+矩形平麵靶+圓(yuán)柱磁控多(duō)弧兩用(yòng)靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子輔助源(除工(gōng)具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質(zhì)量(liàng)流(liú)量計 | 質量流量計(jì) | 質量(liàng)流量計 | 質(zhì)量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方(fāng)式 | 手動或(huò)全自(zì)動 | 手動或全(quán)自動 | 手動或(huò)全自動(dòng) | 手動或全自(zì)動(dòng) | 手動(dòng)或全自動 | 手動(dòng)或全自動 | 手動(dòng)或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空(kōng) | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具(jù)體均按客戶實際工(gōng)藝(yì)要求設計訂(dìng)做 |