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如(rú)何掌控真空鍍膜的均勻性

作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人(rén)氣:1215
如何掌控真空鍍膜的均勻性
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1、測試設備的抽真空(kōng)速度,在測試過程中檢(jiǎn)查(chá)漏氣情況與各真空泵(bèng)的性能;
2、測試設備的(de)密封性能,就(jiù)是抽到極限後保壓1小時看壓降是否達標,同時排除(chú)細小的漏孔;
3、產品試(shì)作,檢驗其他(tā)的性能,比如傳動、加熱、絕(jué)緣等等;
4、如(rú)果有(yǒu)工藝保證的話就(jiù)繼續打樣並作測試。
5、所有的測試應作記錄,並有記錄(lù)人簽字以及有使用部門或工程部門的人確認(rèn)簽字

怎麽掌控真(zhēn)空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原(yuán)理的不同分為很多(duō)種類,僅僅(jǐn)因為都需要高真空度而擁有(yǒu)統一名稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻性(xìng)的因素也不(bú)盡(jìn)相同。並且均(jun1)勻性這個概(gài)念本身也會隨著鍍膜(mó)尺度和薄膜成(chéng)分而有著不同的意義,下麵分別說一下:

均勻性主要體現在3方麵:

1、厚度上的均勻性(xìng),也可以理解為粗糙度,在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻(yún)性已經相當好,可以輕(qīng)鬆將粗糙度控製在可見光(guāng)波長的(de)1/10範圍內,也就是(shì)說對於多弧離子鍍膜(mó)機的光學特(tè)性來說(shuō),真空鍍膜沒有任何障礙。但是如(rú)果是指原子層尺度上的均勻度,也就(jiù)是說要實現10A甚至1A的表麵平整,是現在真空鍍膜(mó)中主(zhǔ)要的(de)技(jì)術含量與技術瓶頸所在。
2、化學(xué)組分上(shàng)的均(jun1)勻性:就(jiù)是說在薄膜中,化合物的原子組分會由於尺度過小而很容易(yì)的產生(shēng)不均勻特性(xìng),SiTiO3薄膜,如果濺控濺(jiàn)射鍍膜機過程不科學,那麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而(ér)可能是其他的(de)比(bǐ)例,鍍的膜(mó)並非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技(jì)術含量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這決定了(le)薄膜是單晶,多(duō)晶,非晶,是真(zhēn)空(kōng)鍍膜技術中(zhōng)的熱點問題。 
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